· 3,5 мільярда років тому виникли перші живі клітини. Вони містять наномасштабні біомашини, які виконують такі завдання, як маніпуляції з генетичним матеріалом та енергозабезпечення.
· 400 років до н.е. грек Демокріт вводить термін «атом» (неподільний).
· 1902 рік. Для вулканізації були використані малі частинки (розміром в декілька нанометрів) сажі з надзвичайно розвиненою поверхнею. Фактично вперше промисловість скористалася перевагами нанотехнології.
· 1905 рік. Альберт Ейнштейн публікує статтю, в якій оцінює діаметр молекули цукру приблизно в 1 нанометр.
· 1912 рік. Ернст Резерфорд у серії тонких дослідів довів, що атом схожий на сонячну систему, в центрі якої — масивне ядро, а навколо обертаються легкі електрони. Так з’явилася планетарна модель атома.
· 1918 рік. Володимир Вернадський висловлює думку про невичерпні можливості атомних технологій.
· 1931 рік. Макс Нол та Ернст Руска розробили електронний мікроскоп, який дозволяє отримати субнанометрові зображення.
· 1954 рік. Ервін Мюллер винайшов польовий йонний мікроскоп, що дозволив йому вперше побачити окремі атоми.
· 1959 рік. Річард Фейнман читає знамениту лекцію «Внизу місця достатньо» про перспективи мініатюризації.
· 1967 — 1972 роки. Українська і російська науково-популярна преса широко обговорює можливості створення реплікатора, здатного відтворювати все з атомів, в тому числі і самого себе.
· 1968 рік. Альфред Чо та Джон Артур зі співробітниками з лабораторій Белла винайшли молекулярно-променеву епітаксію — технологію, яка дозволяє осаджувати на поверхню моноатомні шари.
· 1974 рік. Норіо Танігучі запропонував термін «нанотехнологія» («нано» в перекладі з грецької означає карлик) для визначення обробки матеріалів з точністю, меншою за мікрон.
· 1975 рік. Платон Костюк, Олег Кришталь, Володимир Підоплічко з Інституту фізіології НАНУ вперше вимірюють струм через мембрану нервової клітини. Невдовзі німецькі дослідники вдосконалюють метод і міряють, як через йонний канал йдуть окремі йони.
· 1981 рік. Герд Бінніг та Гайнріх Рорер створюють сканувальний тунельний мікроскоп, який дає зображення окремих атомів.
· 1985 рік. Роберт Карл-молодший, Гарольд Крото та Річард Смолі відкрили фулерени, що мають діаметр близько 1 нм.
· 1986 рік. Ерік Дрекслер видав футуристичну книгу «Двигуни творення», яка популяризує нанотехнології.
· 1989 рік. Дональд Ейглер з ІВМ пише абревіатуру своєї компанії окремими атомами ксенону.
· 1991 рік. Суміо Айіджіма (Японія) відкриває вуглецеві нанотрубки.
· 1993 рік. Ворен Робінет з університету Північної Каліфорнії та Стенлі Вільямс з університету Кароліни в Лос-Анджелесі розробляють систему віртуальної реальності, зв’язану з сканувальним тунельним мікроскопом. Вона дозволяє бачити та торкатися атомів.
· 1998 рік. Група Ціса Деккера з Дельфтського технологічного університету в Нідерландах створює транзистор з вуглецевої нанотрубки.
· 1999 рік. Джеймс Тур, який нині працює в університеті Райса (США) та Марк Рід з Єльського університету (США) показують, що одиничні молекули можуть працювати як молекулярні перемикачі.
· 2000 рік. Адміністрація Клінтона проголошує Національну нанотехнологічну ініціативу, яка забезпечує велике зростання фінансування й формує позитивний імідж цієї галузі.
· 2000 рік. Ейглер та інші дослідники розробляють квантовий міраж. Розміщення магнітного атома в одному фокусі еліптичного кільця атомів створює міраж того ж атома в іншому фокусі. Можливо, це метод бездротової передачі інформації.
· 2001 рік. Дослідники з Інституту хімії поверхні НАНУ розробили на основі високодисперсного кремнезему новий лікувальний препарат сілікс. Розмір його частинок складає близько 100 ангстрем.
· 2002 рік. Національна академія наук, Міністерство освіти та науки України та концерн «Наука» разом з Російською академією наук створюють програму «Нанофізика та наноелектроніка».
У підготовці цієї статті були використані матеріали і малюнок із журналу «Світ науки».