АНАЛИТИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ В СКЛАДЧИНУ

Изучение физических процессов в структурах наноэлектроники, создание приборов на основе нанотехнологий невозможно без применения точных аналитических методов исследования их физико-химических, электрофизических и других параметров.

В Украине существует дефицит аналитического оборудования, необходимого для комплексных исследований в области нанофизики и наноэлектроники. В то же время базовые условия для решения этой задачи в нашей стране имеются. Так, в течение 1986—1991 гг. с целью создания нового поколения изделий микроэлектроники (сверхбольших интегральных схем с минимальными размерами элементов менее одного микрона) бывшее МЭП СССР закупило три комплекта новейшего для того времени импортного аналитического оборудования. В Украине единственным подобным комплектом был оснащен Центр физико-химических исследований «Микроаналитика» НИИ микроприборов в Киеве — одно из ведущих предприятий страны в области разработки элементной базы микроэлектроники. Комплексное применение этого оборудования на основе разработанных специалистами центра методик исследований в значительной степени способствовало созданию и внедрению в производство сложных изделий микроэлектроники.

В настоящее время несмотря на сложности с финансированием в центре сохранена значительная часть оборудования, а его сотрудники развили и расширили методическую базу исследований, по возможности учитывающую требования современных технологий. Центр по-прежнему является единственным в стране научно-техническим комплексом, способным решать практические задачи исследования и контроля современных наукоемких изделий электроники. К ним, в частности, относится контроль технологии выпускаемых полупроводниковых приборов, анализ их отказов, исследование и контроль микроэлектронных компонентов уровня 0, 1—0, 2 мкм, изучение сверхтонких (наноразмерных) технологических слоев, локальных электрофизических параметров и структурно-примесных дефектов в полупроводниковых материалах и структурах.

Поэтому научно-технический потенциал центра может и должен быть востребован для решения практических задач наноэлектроники. Привлечение центра к этой тематике экономически выгодно, поскольку вместо закупки нового комплекса аналитического оборудования в ряде случаев потребуется ремонт, доукомплектование и модернизация существующего.

Сегодня научно-исследовательские организации НАН и вузов Украины, а также отраслевые научно-исследовательские КБ из-за высокой стоимости не имеют возможности использовать уникальное аналитическое оборудование центра, тем самым снижая уровень исследований. Мы предлагаем в рамках Национальной академии наук, МОН и Минпромполитики обеспечить базовое финансирование накладных расходов центра, что существенно снизит стоимость проведения аналитических работ. Кроме того, снижение затрат на проводимые исследования может быть достигнуто посредством включения центра «Микроаналитика» в состав научных объектов, которые составляют национальное достояние.

С целью более эффективного использования потенциала Центра «Микроаналитика» государственного предприятия НИИ микроприборов Министерства промышленной политики на его базе целесообразно создать Центр аналитических исследований наукоемких технологий коллективного пользования. В этом случае возможности центра будут максимально использованы предприятиями и организациями Минпромполитики, Национальной академии наук, Национального космического агентства и других ведомств.

Такое решение при увеличении числа заказов и необходимом уровне финансирования дает возможность сохранить и усовершенствовать имеющееся в центре оборудование, расширить диапазон его применения, а главное — использовать его в целях развития в Украине наукоемких технологий, включая исследования и разработки, предусмотренные разрабатываемой «Государственной национальной программой развития высоких наукоемких конкурентоспособных технологий в промышленности».